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超純水係統組成及各組件原理
超純水最初是美國科技界用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其他適當的超臨界精細技術生產的水，用於開發超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)。).現在超純水已經廣泛應用於生物、醫藥、汽車、半導體等製造領域。除了水分子(H20)，這種水中幾乎沒有雜質。超純水是一般工藝難以達到的程度，比如水的電阻率大於18M。Ω*cm，接近於18.2MΩ*cm被稱為超純水。
超純水係統簡介
超純水係統包括4個處理係統：
預處理係統；反滲透係統；EDI(混合床)係統；精細處理係統
傳統的超純水係統工藝流程：
原水箱→原水泵→絮凝劑（PAC）→多介質過濾器（MMF）→活性炭過濾器（ACF）→陽床→預處理水箱→RO送水泵→阻垢劑殺菌劑→安全過濾器RO→一級RO高壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級RO送水泵→二級RO高壓泵→二級反滲透→中間水箱→EDI送水泵→EDI裝置(或混床)→混合床保安過濾器→紫外線殺菌UV→氮封純水箱→終端循環泵→除TOC UV裝置→拋光混床→終端安全過濾器→終端微濾→循環提升泵→終端用水點→氮封水箱
預處理的作用
原水箱：
對外網自來水供水係統進行檢修的壓力進行緩衝，水箱大小可取純水係統產水量的2-3倍。
多介質過濾器（MMF）：
石英砂過濾器可通過添加混凝劑去除水中的顆粒雜質和懸浮物。（PAC）能使膠體顆粒絮凝，從而降低原水的濁度（NTU）、顆粒（SS）改善原水水質。
活性炭過濾器（ACF）：
活性炭吸附器除了具有MMF特性外，還含有大量表麵積和吸附能力強的活性炭，對水中遊離氯的吸附率在99%以上，對有機物和色度的去除率也很高。
陽床：
水中溶解的鈣鎂離子可以交換，從而降低水的硬度。
超濾（UF）：
超濾是以超濾膜為過濾介質。在一定壓力下，當原液流過膜表麵時，超濾膜表麵密集的許多微孔隻允許水和小分子物質通過。功能與多介質過濾器相同。
預處理水箱：
主要是緩衝預處理係統的反洗再生維修壓力，水箱大小可取純水係統產水量的2-3倍。
反滲透（RO）作用
RO安全過濾器：
RO安全過濾器通常由SUS304製成。經過石英砂過濾器和活性炭過濾器後，原水中的大顆粒懸浮物已經基本去除，而一些小顆粒懸浮物沒有去除。在這裏，再次進行微濾，去除5個μ超過m的懸浮物，以保護RO膜不被堵塞。與此同時，一些活性炭細沫也被截留在反滲透係統之外。
反滲透（RO）：
RO係統主要用於去除水中的陰離子、陽離子和有機物、熱源和細菌。RO係統是一種由RO膜導流布和中心管製成的膜分離技術膜元件，具有選擇透過(半透過)膜的功能，以壓力為驅動力。多個RO元件裝入不鏽鋼耐壓外殼，形成RO元件。
工藝脫鹽係統的關鍵、成熟的工藝設計和合理的操作、控製和管理直接決定了係統的正常穩定出水。與RO膜的使用壽命有關。RO係統處理後的出水量去除了大多數無機鹽和幾乎所有的有機物質、微生物(細菌、熱源等)。)，從而保證了RO係統的質量和質量。
EDI混床（MB）作用
EDI：
結合電滲析和離子交換的優點，在EDI設備中，進水中的各種離子在樹脂交換後被去除，水被純化。這時，離子交換原理被用來去除水中的離子。水分子被電解成氫離子和氫氧根離子來再生樹脂，同時，在電流的作用下，氫離子和氫氧根離子交換的離子被轉移到濃水室排放，從而達到連續再生和連續產水的目的。
與混合床相比，EDI的優點是不需要酸堿再生、酸堿儲備和酸堿稀釋運輸設施，使用安全可靠，避免工人接觸酸堿。節約了再生水和再生汙水處理設施。降低了運行維護成本，占地麵積小，安裝簡單，產水率高，連續運行，產品水質穩定，不會因再生而停機。
混床：
將樹脂與陰陽混合，吸附置換水中的陰陽離子，可以製備不同的電阻值得純淨水。
混合床保安過濾器：
一方麵是防止混床樹脂泄漏汙染氮密封水箱，另一方麵是過濾阻擋混床樹脂再生時摩擦產生的微小顆粒。一般混床安全過濾器的過濾直徑為1μm。
殺菌UV：
用256nm紫外線殺死混床產水中的細菌，防止氮封水箱細菌滋生。
精處理係統
氮封水箱：
超純水氮密封水箱是在密封的水箱中加入一定量的氮氣，以確保水箱的一定壓力。氮是一種惰性氣體，可以防止二氧化碳等其他物質溶解在水中，影響水質，保證水箱內的水不受二次汙染，導致水質下降。
除了TOC紫外燈（TOCUV）：
高能紫外線燈發出185nm波長，可以刺激水的光分解，產生能量極高的氫氧根離子。當TOC完全氧化時，這些氫氧根離子會攻擊有機化合物，並將其分解為二氧化碳和水。一些有機物被分解成易氧化的酸基，這些酸基很容易被拋光混合床去除。
拋光混床（polish）：
為了確保超純水係統的終端出水水質。一般來說，出水水質可達18兆歐以上，對TOC、SiO2具有一定的控製能力。不可再生的拋光混床。
終端安全過濾器：
一方麵是防止拋光混床樹脂泄漏汙染終端超濾和純水循環管道，另一方麵是過濾阻擋使用拋光樹脂時摩擦產生的微小顆粒。終端安全過濾器的過濾直徑為0.1μm。
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